Comment réduire le randonnée radiale de la vis à billes de la précision SFE
Le runnout radial deVis à billes de la précision SFE affecte directement la précision de positionnement et la stabilité opérationnelle de l'équipement de précision, il est donc nécessaire de prendre des mesures ciblées à partir de l'ensemble du processus de fabrication, de l'assemblage, de l'utilisation et de la maintenance, etc. 5 μm) . Il est nécessaire de prendre des mesures ciblées dans l'ensemble du processus de fabrication, d'assemblage, d'utilisation et de maintenance pour contrôler l'écart dans la plage autorisée (E . G . C3 inférieure à celle ou égale à 3 μm, C5 le niveau inférieur à 5 μm) .
Une . Manufacturing: Contrôlez l'erreur de précision de la source
1. Améliorez la précision de traitement de l'arbre à vis
Adopter le processus de broyage ultra-précision (tel que le broyage des roues nano-catégoriques), contrôler l'erreur de rondeur du cercle extérieur de l'arbre à vis inférieure ou égale à 1 μm, l'erreur de cylindricité inférieure ou égale à 2 μm / 1000 mm, assurez la concentricité du corps de la tige et le chemin de race fileté (coaxialité moins que ou égale à 0 . 002m) {{7}).
Lors du broyage du profil du chemin de course fileté, la correction en temps réel de la trajectoire des roues de broyage est effectuée par détection du laser en ligne, afin de réduire l'écart de la ligne spirale du chemin de course (l'erreur de la plage de guidage est inférieure ou égale à 0 . 003 mm / 300 mm), et pour éviter l'écarnation cyclique du point de contact de la bille.
2. Optimisation du processus de traitement des matériaux et de la chaleur
Sénéré en acier en alliage homogénéisé (tel que SUJ2, acier à roulement, inclusions non métalliques inférieures ou égales à 0 . 5), éliminant le relâchement interne par le forgeage, réduisant le danger potentiel de déformation après traitement thermique.
Adoptez "la technologie de trempe entière + à basse température" (dureté HRC 58-62) et le traitement du vieillissement (120 degrés × 24H) pour libérer les contraintes internes et éviter l'augmentation du ruissellement radial causée par la relaxation du stress dans le processus d'utilisation .
Deuxièmement, assemblage et installation: réduire la superposition d'erreur supplémentaire
1. positionnement précis du système de support de roulement
Les boîtiers de roulements aux deux extrémités de la vis sont traités par un alésage de haute précision (rondeur des trous inférieure ou égal à 0 . 001 mm, la coaxialité des deux trous inférieure ou égale à 0,002 mm) et les roulements sont fixés par le processus de montage chaud (surchargez 0.001-0.003 mm) pour s'assurer que l'anneau intérieur de la bague intérieure de la bille et du journal de la vis.
Les roulements à billes de contact angulaires préchargés (série e . g . 7000) sont utilisés pour éliminer le dégagement de roulement par précharge axiale, évitant le ruissellement radial causé par le dégagement de roulement lorsque la vis tourne .
2.Optimisation de l'ajustement entre l'écrou et la vis
Détectez le dégagement d'ajustement entre le chemin de course intérieur de l'écrou et le chemin de course de la vis avant l'assemblage, et obtenez un ajustement de "clairance zéro" ou de "micro-précharge" en criant le diamètre des balles (tolérance inférieure ou égale à 0 . 0005 mm), pour réduire la tronçon radiale de l'écrou dans le processus de transmission.
Pour les longues vis de voyage (longueur> 2 m), ajoutez un siège de support guidant au milieu, corrigez la déviation de la vis par structure réglable (telle que le réglage du bloc de coin) et contrôlez l'incrément de runout complet inférieur ou égal à 2 μm / m .
Utilisation et maintenance: empêcher la décroissance de précision
1. correspondance raisonnable des paramètres de fonctionnement
Évitez le fonctionnement de vitesse surévalué (e . g . la vitesse maximale du modèle SFE2020 inférieur ou égal à 3000r / min), et si nécessaire, effectuez une correction dynamique d'équilibrage (résidus inégale inégale ou égal à 1g ・ mm / kg) pour réduire la vibration radiale causée par la force centrifuge .
Contrôlez la fluctuation de la température de l'environnement de travail inférieur ou égal à ± 2 degrés, et refroidissez la vis au moyen d'un réservoir d'huile thermostatique (précision de contrôle de la température de l'huile ± 0 . 5 degrés) pour éviter l'augmentation du ruissellement radial causée par la déformation thermique (coefficient de l'élargissement thermique moins que ou égal à 11 ×10- ⁶ / degré).
2. Inspection et correction régulières
Une fois l'équipement en cours depuis 500 heures, il est nécessaire d'inspecter le rodout complet radial à l'aide de l'interféromètre laser, et une fois qu'il est constaté que l'écart dépasse la valeur limite (e . g ., la précision de la grade C3 est plus que 3 μm), la position du support peut être complétée par la brasse siège .
Lorsque vous remplacez les balles, le même lot de produits par le même niveau de précision doit être utilisé (la différence de diamètre doit être contrôlée dans 0 . 0003 mm), et la précharge doit être réappliquée (de la taille qui devrait être à 10% -15% de la charge dynamique nominale), de sorte que de restaurer la précision de l'ajustement entre la charge dynamique.
Quatrièmement, les mesures de renforcement des conditions de travail spéciales
Protection corrosive de l'environnement:Vis en acier inoxydable (telles que 304 matériaux) Traitement de nitratides de surface (profondeur de la couche de nitrative de 5-10 μm), pour améliorer la dureté de surface (HV800 ou plus), pour éviter la corrosion causée par un ruisseau radial anormal .
Renforcement structurel pour les scénarios de charge lourde:Choisissez des modèles de grand diamètre (tels que SFE3232 et au-dessus) et ajoutez des cales rigides (telles que la plaque d'acier durci, la planéité inférieure ou égale à 0 . 001 mm) entre le support d'écrou et le lit de l'équipement pour réduire l'impact de la déformation de la base sous charge sur la vis.
À travers les mesures ci-dessus, le runnout radial deVis à billes de la précision SFE can be stably controlled within the range of the designed accuracy level, ensuring that it realizes micron-level positioning accuracy in precision machine tools, semiconductor equipment and other scenarios. In practical applications, it is necessary to formulate a customized plan based on the working conditions of the equipment (e.g., speed, load, and environment), and to maintain Stabilité à long terme grâce à l'étalonnage régulier .
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